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發布時間: 2016 - 03 - 07
RCA濕法腐蝕清洗機設備——華林科納CSE華林科納CSE濕法處理設備是國內最早致力于集成電路濕法設備的研制單位,多年來與眾多的集成電路生產企業密切合作,研制開發出適合于4吋-8吋的全自動系列濕法處理設備設 備 名  稱南通華林科納CSE-RCA濕法腐蝕清洗機使 用 對 象硅晶片2-12inch適 用 領  域半導體、太陽能、液晶、MEMS等設 備 用 途硅晶片化學腐蝕和清洗的設備主體構造特點1. 設備包括:設備主體、電氣控制部分、化學工藝槽、純水清洗槽等;并提供與廠務供電、供氣、供水、排廢水、排氣系統配套的接口等。2.設備為半敞開式,主體使用進口WPP15和10mm厚板材,結構設計充分考慮長期工作在酸腐蝕環境,堅固耐用,雙層防漏,機臺底盤采用德國產瓷白PP板,熱焊接而成,可長期工作在酸堿腐蝕環境中3.主體:設備為半敞開式,主體使用進口WPP15和10mm厚板材,結構設計充分考慮長期工作在酸腐蝕環境,堅固耐用,雙層防漏,機臺底盤采用德國產瓷白PP板,熱焊接而成,可長期工作在酸堿腐蝕環境中;4.骨 架:鋼骨架+PP德國勞施領板組合而成,防止外殼銹蝕。5.儲物區:位于工作臺面左側,約280mm寬,儲物區地板有漏液孔和底部支撐;6.安全門:前側下開透明安全門,腳踏控制;7.工藝槽:模組化設計,腐蝕槽、純水沖洗槽放置在一個統一的承漏底盤中。底盤采用滿焊接工藝加工而成,杜絕機臺的滲漏危險;8.管路系統:位于設備下部,所有工藝槽、管路、閥門部分均有清晰的標簽注明;藥液管路采用PFA管,純水管路采用白色NPP噴淋管,化學腐蝕槽廢液、沖洗廢水通過專用管道排放;9.電氣保護:電器控制、氣路控制和工藝槽控制部份在機臺頂部電控區,電氣元件有充分的防護以免酸霧腐蝕以保障設備性能運行穩定可靠;所有可能與酸霧接觸的...
發布時間: 2017 - 12 - 19
片盒清洗機-華林科納CSE 設備概況:主要功能:本設備主要手動/自動搬運方式,通過對片盒化學液體浸泡、沖洗、漂洗、鼓泡、快排等方式進行處理,從而達到一個用戶要求的效果。設備名稱:片盒清洗機設備型號:CSE-SC-N259整機尺寸(參考):約1700mm(L)×1400mm(W)×2000mm(H);(該設備非標定制)操作形式:手動 設備組成該設備主要由清洗部分、抽風系統及電控部分組成 設備描述此裝置是一個手動的處理設備;設備前上方有各閥門、工藝流程的控制按鈕、指示燈、觸摸屏(PROFACE/OMRON)、音樂盒等,操作方便;主體材料:德國進口 10mmPP 板,優質不銹鋼骨架,外包 3mmPP 板防腐;臺面板為德國 10mm PP 板;DIW 管路及構件采用日本進口 clean-PVC 管材,需滿足 18MW去離子水水質要求;采用國際標準生產加工,焊接組裝均在萬級凈化間內完成排風:位于機臺后上部工作照明:上方防酸照明安全考慮:1. 設有 EMO(急停裝置)2. 強電弱點隔離3. 所有電磁閥均高于工作槽體工作液面4. 設備排風口加負壓檢測表5. 設備三層防漏 漏盤傾斜 漏液報警 設備整體置于防漏托盤內 更多的花籃和片盒清洗機設備相關資訊可以關注華林科納CSE官網(www.zgcxlmw.com),現在熱線咨詢400-8768-096 18913575037可立即獲取免費的片盒清洗機解決方案。
發布時間: 2017 - 12 - 06
自動供液系統(CDS)-南通華林科納CSEChemical Dispense System System 南通華林科納半導體CSE-CDS自動供液系統 適用對象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本設備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進行配送,經管道至設備;具有自動化程度高,配比精確,操作簡便等特點;具有良好的耐腐蝕性能。控制模式:手動控制模式、自動控制模式設備名稱南通華林科納CSE-CDS自動供液系統設備型號CSE-CDS-N2601設計基準1.供液系統(Chemical Dispense System System)簡稱:CDS2. CDS 將設置于化學房內:酸堿溶液CDS 系統要求放置防腐性的化學房;3. 設備材質說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構采以WPP 10T 板材,內部管路及組件采PFA 451 HP 材質;4. 系統為采以化學原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運送到制程使用點;5. 過濾器:配有10” PFA材質過濾器外殼;6. 供液泵:每種化學液體配有兩臺或者一臺 PTFE材質的進口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸堿類采用一般型靜電容近接開關;8. 所有化學品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報功能。CDS系統設備規格 1. 系統主要功能概述設備主要功能:每種化學液體配兩個桶(自動切換)、配兩臺泵(一用一備)、帶過濾器;系統控制單元:配帶OMRON 8”彩色觸摸屏,OMRON品牌PLC系統;2. 操作模式: CDS 系統皆有PLC 作Unit 內部流程控制,操作介面以流程方式執行,兼具自動化與親和力。在自動模式情形...
發布時間: 2016 - 06 - 13
設備名稱:晶棒腐蝕機---CSE產品描述:        ●此設備自動化程度高,腐蝕清洗裝置主要由水平通過式腐蝕清洗主體(槽體部分/管路部分等),移動機械傳送裝置,CDS系統,抽風系統,電控及操作臺等部分組成;         ●進口優質透明PVC活動門(對開/推拉式),保證設備外部環境符合勞動保護的相關標準,以保證設備操作人員及其周圍工作人員的身體健康;         ●機械臂定位精度高;         ●整體設備腐蝕漂洗能力強,性能穩定,安全可靠;         ●設備成本合理,自動化程度高,使用成本低;技術先進,結構合理,適宜生產線上大批次操作.         ●非標設備,根據客戶要求具體定制,歡迎詳細咨詢!更多半導體清洗設備相關資訊可以關注華林科納CSE官網(www.hlcas.com),現在熱線咨詢400-8768-096可立即獲取免費的半導體清洗解決方案。
發布時間: 2016 - 03 - 14
2設備構成及詳細技術說明2.1工藝說明 2.2.臺面結構圖如下      3.設備說明3.1 排風系統?●排風裝置(排風壓力、風量根據實際情況或客戶要求設計)將設備內揮發的有毒氣體抽到車間排風管道或戶外(室外排放遵守國家環保要求),避免擴散到室內;?●排風通道內設有風量導流板,從而使排風效果達到最佳;?●本體頂部后方自帶強力抽風1個風道口裝置(每個藥劑槽對應一個),排風口直徑大于或等于 200mm 與本體焊成一體;?●排風口處設有手動調節風門,操作人員可根據情況及時調節排風量;3.2設備防護門:?●本體前方安裝有防護隔離門,隔離門采用透明PVC板制成,前門可以輕松開合,在清洗過程中,隔離門關閉,以盡量改善工作環境并減小對人體的傷害. ?●形式:上下推拉門。3.3 給排水/廢液系統?●給水管路為一路去離子水;?●給排水排廢接頭均為活性連接;?●排放方式均采用氣動控制的方式來保證安全3.4 電氣控制系統?●采用優質PLC可編程控制器控制全操作過程, ?●人機界面為觸摸屏,接口中有手動操作、故障報警、安全保護等功能,各工作位過程完成提前提示報警,觸摸屏選用優質產品;?●觸摸屏加鎖定,以防非授權人員修改或設定參數;?●所有電控部分需獨立封閉,帶抽風系統,獨立的配電柜?●設備照明:設備其它部位--低電壓燈,根據工作需要可控照明;?●設備整體采取人性化設計,方便操作;并裝有漏電保護和聲光報警提示裝置,保證性能安全可靠;電控部分導線采用耐高溫、耐腐蝕的專用導線,電氣控制部分內部還通有壓縮空氣保護,可防水耐腐蝕;?●設備所有處于腐蝕腔中的線纜均通過PE管進行保護,免受腐蝕;?●設備具有良好的接地裝置;
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半導體設備的國產化為什么這么難?!從成本構成來看,國產設備企業和國外企業相差不大,如關鍵零部件都是采購而來,人員和管理費用也相仿,但是實際上,產業大環境卻十分不同。比方說,同是采購零部件,我國企業因為是進口,所以要承擔稅費,而且有些零部件訂貨需要出口許可證;因為訂貨量相對小很多,采購價格高;產業配套條件不同,如實現某些設計驗證國內企業要花更高的成本;缺乏人才等。 國產設備的設計水平和國際水平相差并不大,嚴格來說,真正的差距在于,一般國產半導體設備尚處在樣機階段就交給客戶,穩定度不夠,這就會導致經常down機。 就單單從我們華林科納而言,一臺全自動清洗機,選材基本是和國外大廠一樣的,國外進口的零部件還需要承受高額稅費,訂貨量小,價格昂貴,就加工成本來說,絕不低于國外的一線廠家。 國內與國外設備的差異無非兩個方面,工藝精度及穩定度,然而精度及穩定度的實現必須依靠無數次的實驗校準,整套的量測儀器,直接影響的又是成本及交期。往往采購國內設備的廠家都是抱著國內設備就該便宜的心態,價格壓得低的不能再低,交期催的急得不能再急,售后要求高的不能再高,他們不知道我們的利潤除去硬成本和軟成本還剩多少,這就引發了國內設備制造屆的惡性價格戰,有些小廠家為了生存,選用低廉的材料,粗糙的加工工藝,省去了研發調試環節,他們打贏了價格戰,確輸了國產的名聲。 長此以往,國內設...
發布時間: 2016 - 08 - 01
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電鍍是國民經濟中不可缺少的行業,但歷來也是重度污染行業。凸點電鍍是最近發展起來的新型電鍍技術,是將傳統電鍍技術應用于微電子微細加工領域的典型范例。近年來,蓬勃發展的MEMS電鍍以及超大規模集成電路銅布線電鍍等高新技術,代表電鍍這門古老的工業技術正迅速向高技術含量、高精度、高可靠性方向邁進。與傳統電鍍技術一樣,凸點電鍍過程也面臨非常嚴峻的環境問題,比如氰化物鍍金、含鉛電鍍、節能節水、三廢排放與處理等,一旦處理不好,將會對環境產生巨大危害。本文主要探討在芯片凸點電鍍過程中應用清潔生產技術的考慮和措施。芯片凸點的典型加工流程目前,比較典型的凸點制作工藝流程主要包括焊料凸點制作和金凸點制作。焊料凸點制作工藝流程:清洗→濺射Ti/Cu→光刻1→電鍍Cu/Ni→去膠→腐蝕→介質制作→光刻2→腐蝕介質→去膠→濺射Ti/Cu→光刻3→鍍Cu/Ni→鍍焊料→去膠→腐蝕Cu→腐蝕Ti→硅片回流→檢測凸點→劃片分割→成品。金凸點制作工藝流程:清洗→濺射TiW/Au→厚膠光刻→掃膠→電鍍Au→去膠→等離子清洗→腐蝕Au→腐蝕TiW→退火→檢測→成品。一般來說,凸點制備過程中,主要采用電鍍銅、鎳、金、錫鉛、錫銀等鍍種,一些特殊的凸點工藝還使用金錫、錫、銀、銦、化學鍍鎳等鍍種。凸點電鍍配方及施鍍方式目前,凸點電鍍中會涉及氰化物電鍍、含鉛電鍍等問題。就施鍍方式而言,可能會涉及電鍍、化學鍍,以及物理沉積等。首先,...
發布時間: 2016 - 07 - 25
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金屬層的形成主要采用物理汽相沉積(Pysical Vapor Deposition,簡稱PVD)技術,主要有兩種PVD技術:蒸發和濺射。蒸發是通過把被蒸鍍物體加熱,利用被蒸鍍物在高溫(接近其熔點)時的飽和蒸汽壓,來進行薄膜沉積的;而濺射是利用等離子體中的離子,對被濺射物體電極(也就是離子的靶)進行轟擊,使汽相等離子體內具有被濺鍍物的粒子(如原子),這些粒子沉積到硅片上就形成了薄膜。鋁是用于互連的最主要的材料之一,因為鋁的價格相對低廉,并且鋁能夠很容易和二氧化硅反應形成氧化鋁,這促進了二氧化硅和鋁之間的粘附性。在生產中采用電子束蒸發工藝淀積鋁膜,大致步驟為:圓片在清洗液中清洗干凈后浸入HF溶液中去除表面的氧化層,去離子水沖洗后離心甩干;將圓片裝上行星盤,把行星盤裝回蒸發臺后就可以開始根據程序淀積薄膜,可以根據需要覺得是否對蒸發的圓片襯底加熱。已經完成前道工序并且表面已經氧化光刻,送入正蒸間進行表面金屬化,具體步驟如下:一、前處理清洗:對應不同的產品有不同的清洗方式泡酸:將圓片浸入5%的HF溶液中浸泡20S左右,然后沖水后甩干。對于肖特基產品采用1%的HF溶液浸泡30S。泡酸后的圓片在2小時之內必須正蒸,否則要重新泡酸(防止放置過長時間產生氧化層)。 二、正面蒸鋁將泡酸完的圓片裝在行星盤上,放入蒸發臺中,按照程序進行蒸發淀積。蒸發的鋁層的厚度一般根據芯片功率的大小來確定,從1...
發布時間: 2016 - 07 - 25
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一、前處理檢驗完成后送入背蒸間,蒸發工序接收圓片時要檢查片子表面有無異常情況,特別是鋁層有無減薄現象、中測針跡的深度等,檢驗合格后進行前處理。(1) 清洗:各種圓片在減薄后,背面蒸發前都要清洗,步驟如下:1、一槽:ABZOL溶液,加熱至(55±5)℃,加超聲;2、二槽:ABZOL溶液;3、三槽:甲醇,目的是去除ABZOL溶液;4、四槽:甲醇;5、溢流槽:沖水,去除甲醇;6、厚度大于200μm 的片子在離心甩干機中甩干,角片有隱裂和厚度小于200μm 的片子用甲醇脫水后在氮氣烘箱烘干。(2) 泡酸:對于減薄片用5%的HF水溶液,對于噴砂片用冰乙酸:氟化銨=1:3的氟化銨溶液。泡酸后必須充分沖水,使硅片上的酸液在極短的時間內沖走,以免部分酸液停留在引線孔內或中測點上導致部分地方過腐蝕。將片架放到離心甩干機中甩干。角片沖水后經甲醇脫水后在氮氣烘箱中烘干。(3) 金砷工藝背蒸前處理:清洗同前,泡酸步驟為:1、背面單面泡5%的HF溶液16s左右;2、沖純水;3、甩干。金砷蒸發在背面蒸發專用金砷工藝蒸發臺中進行,金源要使用有坩堝套的。 二、背蒸背蒸是在離子束蒸發臺中進行,背蒸工藝根據背面金屬化結構來命名,具體工藝如下:工藝名稱工藝方法材料名J方式五層工藝(1.2-1.6)μmVNiAuGeAuGeSbAuS方式四層工藝(2.4-3.0)μmTiNiSnCuSnCuSnCuA...
發布時間: 2016 - 07 - 25
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—華林科納 網絡部對于全球半導體產業來說,經歷過2015年的產業大整合之后,整個產業競爭格局已經發生了深刻的變化,2016年將成為半導體產業發展的“拐點”。今年大陸半導體產業依舊保持高速增長的格局,主要是受惠于大陸市場持續進行進口替代,為本土企業帶來發展空間。  而且12寸晶圓、8寸晶圓廠的生產線與制程技術模組和IP核心的開發,為智慧電網、智慧交通、智慧家居等物聯網相關的集成電路產品,提供有力的支撐,以及外資企業加大在大陸投資的規模,而更重要的是中國大陸政府政策的扶植,如《中國制造2025》、十三五規畫等新世紀發展戰略的帶動。  就集成電路制造業而言,全球12寸晶圓廠產能向中國轉移已成定局,中國現有的12寸晶圓廠產能總計共42萬片/月,其中包括中芯國際(北京)、中芯國際(上海)、SKHynix、Intel(大連)、武漢新芯、Samsung、華力微電子,而2016-2018年中國新增的12寸晶圓廠總產能將高達63.50萬片/月,占全球12寸晶圓廠的產能比重將由2016年的10%攀升至2018年的22%。    未來中國12寸廠的產能將足以左右全球半導體市場,另一方面也代表中國半導體勢力的崛起,各國紛紛向中國祭出合作、插旗的策略,期望搶攻未來的商機。    其中值得一提的是,2016-2018年中國新增的12寸晶圓廠產能中將包括來自于臺灣的臺積電、聯電、力晶,各于廈門、南京、合肥等地設...
發布時間: 2016 - 06 - 28
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—蘇州華林科納網絡部6月8日下午,總投資達30億美元的德科碼半導體產業園項目正式在南京經濟技術開發區奠基,將建設8寸晶圓廠2座、12寸晶圓廠1座,以及封裝測試廠、設備再制造廠、科研設計中心和配套生活區等。此前的3月28日,總投資同為30億美元的臺積電南京項目簽約落戶江北新區。兩大“30億美元級”的世界領先企業先后投資南京,在帶給中國大陸最先進生產工藝的同時,也將填補南京市集成電路產業發展中的關鍵短板,使南京一舉進入全國集成電路重點城市第一方陣。科教人才優勢讓南京脫穎而出  臺積電南京項目為臺灣集成電路制造公司獨資。該公司是全球最大的集成電路晶圓代工制造企業、全球第三大集成電路企業,僅次于英特爾和三星。  德科碼南京項目則由香港德科碼科技有限公司和以色列塔爾半導體公司共同投資。這兩大項目,以其龐大的規模和先進的技術,引發了各個城市的激烈“爭奪”。南京為何能從眾多競爭城市中脫穎而出?南京的科教人才優勢和電子信息產業基礎,是這兩家企業非常看重的關鍵點。晶圓制造是科技含量非常高的工業領域,對人才有非常高的需求。  加快大陸晶圓制造追趕世界先進水平的腳步  兩大“30億美元級”項目落戶南京,不僅是我市集成電路產業的大事,也是全國電子信息產業界的大事,在海內外都引起強烈反響。過去一個時期,大陸電子信息產業一直面臨“缺芯少屏”的尷尬。這其中,“屏”指面板,“芯”指芯片。近幾年,大陸液晶面板產業強...
發布時間: 2016 - 06 - 28
瀏覽次數:105
華林科納CSE已具備FPD設備整線配套能力  華林科納(CSE)FPD設備項目負責人—李豐博士表示,CSE已經具備了FPD設備與工藝整線配套能力,并與國內某知名企業簽定戰略合作協議。近兩年,項目組在平板顯示行業光電方面進行了顯示方案、光電控制、光電測量、光學鍍膜、光學膠合、器件產品、工藝工裝、工程試驗等產業化研究,掌握了其核心技術,并取得多項相關專利,其中包括大尺寸LED背光模組和新型彩色濾光片,這兩個器件模組是液晶顯示面板部件及材料成本的60%左右。  華林科納(CSE)愿做FPD顯示設備國產化的領路人,不斷創新,積極進取,為客戶提供一流的設備,先進的工藝和完善的服務。  公司注重持續創新和技術改進,目前已擁有發明專利技術18項,并多次獲得國家高新技術產品認定證書,肯定了企業的整體實力。CSE始終以高品質、高要求、高目標為產品技術理念持續進行以客戶為導向的創新,且與國際上知名公司和中科院蘇州納米所等科研機構建立了良好的合作關系。10多年以來始終為半導體和太陽能行業提供創新的專用的濕法工藝解決方案;以技術創新為支撐,以精細管理做保證;以卓越的產品贏得客戶信任,以竭誠的服務完美品牌形象;以矢志不渝的精神追求國際化,現代化,制造服務一體化的企業方向,努力打造成中國半導體設備高新技術制造基地。
發布時間: 2016 - 05 - 31
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華林科納給您解答化學品CDS系統維護保養疑難重點  CDS系統月、季度、半年、全年維護哪些方面?換下來的濾芯怎么清洗?是否可以重復使用不?這些都是硅片的清洗腐蝕設備在使用時要考慮到的問題,下面,華林科納就來一一為大家解答。
發布時間: 2016 - 05 - 31
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清洗設備專業生產廠家華林科納淺談PP、PE廢舊薄膜破碎清洗生產線 蘇州華林科納(CSE)PP、PE廢舊薄膜破碎清洗回收生產線主要由:輸送帶,破碎機,磨擦清洗機、沉淀漂洗池、螺旋提升機、脫水機,風管干燥系統、料倉、控制面板等組成的。 PP、PE廢舊薄膜破碎清洗回收生產線是通過引進、消化吸收國際同行業的先進理念和技術、并結合當今發展的需求和廢塑料二次應用的特性研制開發而成的。是可以滿足國內外對廢塑料再生處理的環保要求。主要處理的料物是為PE/PP塑料,PE/PP塑料垃圾混雜物,廢舊PP編織袋、、塑料袋,生活垃圾塑料、廢舊農膜地膜。整條生產線從開始作業到成品、是可以非常容易的清洗廢塑料制品。廢臟農用薄膜、廢包裝材料或者硬塑料在這里一步步得到處理。整條生產線簡潔而有效的設計使得流水線在國內外大受歡迎的。 嚴格按照CE認證要求的生產工藝使得機器的質量、安全性更加的可靠。PP、PE薄膜清洗設備產量:100—1000kg/h。 PP、PE廢舊薄膜破碎清洗回收生產線、PP、PE薄膜破碎清洗設備、廢舊薄膜清洗回收設備、廢舊農膜地膜清洗設備、廢舊塑料清洗設備、廢舊塑料清洗生產線、廢舊塑料清洗流水線專業生產廠家。
發布時間: 2016 - 05 - 31
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作為中國光伏行業主流媒體的MPV《現代光伏》雜志和全球太陽能光伏網在金秋欲交給行業一份不同的答卷。“PV TOP 50”自2010年開展以來,一直得到業內的積極參與和支持,已經成功地舉辦了四屆。2014年度評選最終榜單于2014年12月18日發布,并舉行頒獎典禮。活動始終堅持公開、公正、公平的評選原則,評審組委會成員來自國家政府、權威光伏行業學、協會的專家學者。為了提高活動的透明度和規范性,評選設置了公眾投票和專家評審環節,整合參選標準、提高評選獎項含金量。多家行業媒體對此次評選進行全面報道,多方位的報道和推廣了CSE蘇州華林科納半導體設備技術有限公司。
發布時間: 2016 - 05 - 31
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